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TVカラーフィルター修正に要求される、菱形/平行四辺形の加工を実現するスリットシステムです。 |
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仕 様 |
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・スリット本体 |
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加工可能形状 |
正方形、長方形、ひし形(平行四辺形) |
外形寸法 |
138.6mm×161mm×151.7mm(高さ×幅×奥行き) |
質 量 |
2.5kg |
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・XYスリット |
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最大スリット幅 |
3mm(オプションにて6mm対応可能) |
最小スリット幅 |
50µm以下 |
スリット分解能 |
1µm(計算値)
20倍レンズ使用時:0.2µm
50倍レンズ使用時:0.1µm |
位置決め精度 |
±5µm以下 |
移動速度 |
2秒/3mm(Manual操作を除く) |
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・θΦ回転機構 |
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回転角 |
0〜90度または±45度 |
回転分解能 |
0.1度(計算値) |
位置決め精度 |
±0.5度以下 |
移動速度 |
1秒/45度(Manual操作を除く) |
最大加工径 |
300µm(オプション:600µm) |
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YAGレーザーの発振波長である1064nm、532nm、355 nm、266nmの全てに対応する観察性能も向上させた、加工光学系です。
お客様の使い勝手に合わせて、4つのレイアウトが選択できます(受注時対応)。 |
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