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温度変化に強いレーザーヘッド
ダブルリニアブッシュ方式により光路変化を軽減する共振器構造
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振動に強いレーザーヘッド
・フレームに高剛性素材を採用。強度は従来の2倍
・XY動作においても安定した性能を発揮
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高気密レーザーカバー
防塵性の強化によりレーザー出力を長期間安定させることが可能
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高精度レーザー出力可変システム
・メカ機構のバックラッシュを低減
・専用ソフトによるリニアな出力可変を実現
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安定性の高いレーザー出力
PFN方式採用のレーザー電源
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高精度電動スリット
・モニタ画面上の電子ラインにより修正位置や範囲を確定する為正確なレーザー照射が可能
・メカ機構のバックラッシュを低減し、再現性のあるリニアな動作を実現
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多機能コントロールボックス
・オペレーターが必要とする全ての機能を凝縮
・メモリーボタンにより4通りの加工条件を記憶
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メンテナンス性
・容易なランプ交換
・新設計レーザーヘッド吸気フィルター 〔HSL-4000 (II,III含む)シリーズ〕
フィルター交換サイクルが長い
ワンタッチフィルター交換
・新設計チラー 〔HSL-5000 (II,III含む)シリーズ〕
工具を使用しない冷却水、フィルターの交換 |