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熱膨張特性をシリコン単結晶に一致させてあります。そのため、歪みの少ない陽極接合が広い温度範囲で行えます。 |
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特徴 |
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1. 熱膨張特性がシリコン単結晶と整合
アルミノ珪酸塩系(SiO2-Al2O3-Na2Ｏ系)のガラス組成を選ぶことにより熱膨張を広い温度範囲でシリコン単結晶と整合させました。
2. 陽極接合が容易
Naの微量添加により体積抵抗率を小さくし、400℃以下の温度でも強固な接合が行えるガラス組成になっております。
３. 品質が安定
熱膨張特性のロット間のバラツキが非常に少なく安定しています。
４. 加工性が良
低濃度のフッ酸水溶液でエッチングができ、エッチング面は鏡面になります。
５. ガラスに自由度あり
ご要望により熱膨張特性を変化させることも可能です。また、更に低温で陽極接合できる素材も開発しております。 |
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※グラフ中では「SD1」のデータを使用しておりますが、比較の為の参考データです。現在、お取扱いがございませんのでご了承下さい。 |
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用途例 |
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1）半導体圧力センサー基板
2）加速度センサー基板
3）インクジェットプリンターのノズル部品
4）マイクロマシーニング接合用ガラス |
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特性 |
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| *1 |
直径43.7mm（両面で30cm2）、厚さ5mmの対面研磨されたガラス試料を、よく撹拌されている80℃ 30%HNO3水溶液中に50時間浸漬したときの単位面積あたり重量減mg/cm2で示す。 |
| *2 |
直径43.7mm（両面で30cm2）、厚さ5mmの対面研磨されたガラス試料を、よく撹拌されている80℃ H2SO4：HNO3：H2O＝1:1:1水溶液中に50時間浸漬したときの単位面積あたり重量減mg/cm2で示す。 |
| *3 |
直径43.7mm（両面で30cm2）、厚さ5mmの対面研磨されたガラス試料を、よく撹拌されている50℃ 0.00N NaOH水溶液中に15時間浸漬したときの単位面積あたり重量減mg/cm2で示す。 |
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